取放定位精度 ±10um
夾盤尺寸 JEDEC Tray-140x320mm
IC尺寸 ≦15mm(D)/3mm-11.4mm(W)/0.9-5mm(H)
直進範圍 Wafers:300mm-400mm
旋轉範圍 Pick-Place heads:90°/180°/270°
取放速度 8000以上
料管尺寸 530mm-330mm(D),8mm-16mm(W),3mm-10mm(H)
系統需求 Power:110V AC,50/60Hz,1Phase;Pneumatic source:5kg/cm²;Vacuum:450mm-Hg