取放定位精度 | ±10um |
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夾盤尺寸 | JEDEC Tray-140x320mm |
IC尺寸 | ≦15mm(D)/3mm-11.4mm(W)/0.9-5mm(H) |
直進範圍 | Wafers:300mm-400mm |
旋轉範圍 | Pick-Place heads:90°/180°/270° |
取放速度 | 8000以上 |
料管尺寸 | 530mm-330mm(D),8mm-16mm(W),3mm-10mm(H) |
系統需求 | Power:110V AC,50/60Hz,1Phase;Pneumatic source:5kg/cm²;Vacuum:450mm-Hg |